半导体游星轮DLC处理

DLC处理的不锈钢游星轮对酸碱具有良好的抗腐蚀能力，适用于在磨抛过程含有酸碱性工艺的产品使用。耐磨性强以不锈钢游星轮实际工作为例，连续工作 8500 转;表面无磨损,产品的表面维氏硬度达到 HV2800以上，由于游星轮跟其他工件摩擦，容易产生静电，而做了DLC涂层有防静电绝缘性能，从而保护半导体芯片。从而，提高了半导体晶片加工的游星轮的使用寿命。