dlc碳涂层

DLC薄膜通常是非晶的，由sp2（石墨）和sp3（金刚石）相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间，而膜硬度和sp3含量可以根据具体应用而定制。含金属和氢的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范围内具有35%sp3的硬度，无金属DLC(C-DLC或a-C:H)通常为1500-4000HV和高达75%sp3，而四面体非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范围内具有80-85%sp3。