钨钢模具冲头表面dlc镀膜工艺

DLC类金刚石是一种由碳构成的物质，性质类似于金刚石，具有石墨原子的结构。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜，由于其具有高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、耐磨性和良好的真空摩擦学性能，适合作为耐磨涂层，引起了摩擦学领域的广泛关注。目前制备类金刚石薄膜的方法很多，如真空蒸发法、溅射法、等离子体辅助化学气相沉积法、离子注入法等。