DLC类金刚石碳涂层膜厚决定其硬度数值

      

         DLC类金刚石碳涂层,是一种SP3(金刚石结构)SP2(石墨结构)或与氢、硅、氣和金属等元素杂化的人工材料。DLC是碳膜材料的统称,它具有高硬度、耐腐蚀、低擦、绝缘等多种特性,其各异化的性能取决于结构键的比例和配位键元素的种类。

     

          DLC具有部分金刚石的特性,比工业中使用的大多数金属材料都要硬。是机械设备中最常用的自润滑涂层。DLC类金刚石碳涂层目前有以下种类

a-C=无氢非晶碳膜

a-C:H=含氢非晶碳膜

ta-C=四面体无氢非晶碳膜

ta-C:H=四面体含氢非晶碳膜

a-C:X=元素掺杂无氢非晶碳膜

 

      DLC类金刚石碳涂层通常厚度为1-5微米,DLC表面硬度一般在1800HV~2200HV之间。DLC类金刚石碳涂层装饰镀DLC1微米以内;但接近0.5微米时,DLC会出现炫彩,或者叫七彩DLC。不同的颜色以及不同的均匀度,可以反映出DLC的膜厚。

 

      DLC类金刚石碳涂层可以广义理解为SP2SP3键构成的杂化膜系,其中以石墨为靶材,无氢无定形四面体碳膜a-C,随着SP3的含量增加,硬度显著增加甚至到6000HV,但是膜厚因内应力原因,通常在0.3-0.5微米之间。但DLC是一个高度可定制的膜系,可以通过改变膜的晶格结构、元素参杂和镀膜工艺,实现不司属性的碳膜,如8微米以上超厚DLC和超厚ta-C(硬度通常会降低到3500HV以下)